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<问答题>什么是固相外延(SPE)及固相外延中存在的问题?
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<问答题>什么是离子注入的横向效应?同等能量注入时,As和B哪种横向效应更大?为什么?
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<问答题>MEMSSi加工工艺主要分为哪两类,它们最基本的区别是什么?
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<问答题> 以P2O2为例说明SiO2的掩蔽过程。
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<问答题>说明SiO2的结构和性质,并简述结晶型SiO2和无定形SiO2的区别。
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<问答题>什么是两步扩散工艺,其两步扩散的目的分别是什么?
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<问答题>假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散,从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
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<问答题>以P2O5为例,多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
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<问答题>写出菲克第一定律和第二定律的表达式,并解释其含义。
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<问答题>杂质原子的扩散方式有哪几种?它们各自发生的条件是什么?从原子扩散的角度举例说明氧化增强扩散和氧化阻滞扩散的机理。
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<问答题>集成电路制造中有哪几种常见的扩散工艺?各有什么优缺点?
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<问答题>分别简述RVD和GILD的原理,它们的优缺点及应用方向。
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