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微电子器件的特征尺寸继续缩小的关键技术有哪些？

时间：2021-08-31 04:20 关键词： 微电子学 电子与通信技术

答案解析

<p> 第一个关键技术层次：微细加工；<br> 第二个关键技术：互连技术；<br> 第三个关键技术：新型器件结构，新型材料体系（高K介质，金属栅电极，低K介质，SOI材料）。</p>