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接触曝光方式的关键技术有哪些？它的主要优缺点是什么？

时间：2022-01-04 05:44 关键词：集成电路技术综合练习

答案解析

<p> 需要一股很粗的光束、一个很大的透镜，以及一套良好的光学系统；<br> 精确度较高但非理想接触导致LSI芯片合格率不高，掩膜和晶圆每次接触都会产生磨损，掩膜消耗大。</p>

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