断口：扫描电子显微分析：<br>（1）10-30mm的试样，制样简单；<br>（2）场深大、适于粗糙表面和断口，图像富有立体感和真实感；<br>（3）放大倍率变化范围大15倍～20万倍；<br>（4）分辨率：3-6nm；<br>（5）可用电子学方法、控制和改善图像质量；<br>（6）可多功能分析；<br>（7）可动态分析；<br>扫描电镜分析应用：<br>1、形貌观察：颗粒（晶粒）形貌、表面形貌；<br>2、元素分析：选区、微区元素分析；<br>3、阴极荧光图象和阴极荧光光谱分析；<br>4、晶体管或集成电路的PN结观察。<br>不同：扫描电镜可直接观察块状试样形貌，透射电镜观察块状试样形貌时，需制备复型膜。扫描电镜可进行成分（元素）分析，透射电镜可进行结构分析。<br>表面：透射电子显微镜<br>透射电子显微分析：<br>（1）高分辨率：点分辨率：r=0.23―0.25nm，线分辨率：r=0.104―0.14nm；<br>（2）高放大倍数：100―80万倍，连续可调；<br>（3）电子衍射：可进行结构分析。
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