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离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。

A、电极

B、分析器

C、加速器

D、腔体

时间：2021-12-26 20:22 关键词： 集成电路制造工艺员（三级） 集成电路制造工艺员

答案解析

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