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离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。

A、正

B、负

C、中性

D、以上答案都可以

时间：2021-12-26 20:21 关键词：集成电路制造工艺员（三级）集成电路制造工艺员

答案解析

A

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