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离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。

A、中子源

B、离子源

C、电子源

D、质子源

时间：2021-12-26 20:21 关键词： 集成电路制造工艺员（三级） 集成电路制造工艺员

答案解析

B