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光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？

时间：2021-09-17 20:00 关键词： 铁路车号员(长) 货运从业资格考试

答案解析

<p> 增大了曝光场，可以获得较大的芯片尺寸，一次曝光可以多曝光些芯片，它还具有在整个扫描过程调节聚焦的能力。</p>