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短沟道效应(Short Channel Effect)
时间:2022-01-04 10:06
关键词:
集成电路工艺原理
电子与通信技术
答案解析
<p> 短沟道效应主要是指阈值电压与沟道相关到非常严重的程度。源-漏两极的p-n结将参与对位于栅极下的硅的耗尽作用,同栅极争夺对该区电荷的控制。栅长Lg越短,被源-漏两极控制的这部分电荷所占的份额比越大,直接造成域值电压Vt随栅长的变化。</p>
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