<p> 1)硅的丰裕度。硅是地球上第二丰富的元素,占地壳成分的25%;经合理加工,硅能够提纯到半导体制造所需的足够高的纯度而消耗更低的成本。<br> 2)更高的熔化温度允许更宽的工艺容限。硅1412℃>锗937℃。<br> 3)更宽的工作温度。用硅制造的半导体件可以用于比锗更宽的温度范围,增加了半导体的应用范围和可靠性。<br> 4)氧化硅的自然生成。氧化硅是一种高质量、稳定的电绝缘材料,而且能充当优质的化学阻挡层以保护硅不受外部沾污;氧化硅具有与硅类似的机械特性,允许高温工艺而不会产生过度的硅片翘曲。</p>