质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念？

<p> 质量流量控制器（MFC）中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa，若压差低于最低值（0.1MPa），有可能控制达不到满量程值；若高于最高值（0.3MPa），有可能关闭时流量不能小于2%F.S。<br> 用户使用MFC时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，并且要求气压要相对稳定。</p>